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传感器一——红外成像芯片

红外辐射

红外辐射通常定义为波长从0.75μm至1000μm的电磁波,红外辐射的短波端与可见光相邻,长波端与微波相接。红外辐射是一种在自然界普遍存在的电磁波能量,一切温度高于绝对零度的物体都会产生该辐射。

红外辐射

红外成像技术及应用

收集并探测物体的红外辐射,可以重构物体特征,进而有效地扩展人眼的视觉范围。

红外成像技术及应用

红外成像芯片与样机

成像原理: PN结二极管

红外成像芯片与样机

传感器二——皮拉尼真空计

背景介绍

真空科学在半导体工业、冶炼、以及先进科学研究等领域有着广泛应用。实时监测并精确控制真空环境的气压依赖于真空计的辅助。

随着传感器向着微型化、集成化、智能化方向发展,利用MEMS技术研制的真空计也应运而生。目前,MEMS真空计包括:电离式、电容膜式、谐振式、热电偶式、以及皮拉尼式。其中,MEMS皮拉尼真空计具有在低真空下量程宽、灵敏度高、响应速度快的优点,可应用于航天航空、集成电路封装、食品加工等。

在真空环境下,气体气压影响气体分子热传导,从而导致探测单元温度变化。对于工作在恒流偏置下的二极管,输出电压与温度变化呈线性关系,由此反映出气压变化。

二极管型MEMS皮拉尼真空计

收集并探测物体的红外辐射,可以重构物体特征,进而有效地扩展人眼的视觉范围。

芯片结构芯片结构性能曲线
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